Статьи

N.I. Chkhalo, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, S.Yu. Zuev, N.N. Tsybin, » Improving the optical and mechanical characteristics of aluminum thin-film filters by adding thin cap layers «, Thin Solid Films. -2018.- Vol. 653. — P.359-364.

А.Д. Ахсахалян, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, М.Н. Торопов, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – №1 – С. 5-24.

N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Sjmaenok, N.N. Tsybin, «Study of heat induced changes in elastic properties of multilayer Mo/ZrSi2 membranes», Thin Solid Films. -2017.- Vol. 631. — P.93-98.

Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования / С.А. Гарахин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, А.Я. Лопатин, А.Н. Нечай, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Квантовая электроника. – 2017. – Т.47. — №4. – С.385-392. DOI: https://doi.org/10.1070/QEL16300

N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, S.V. Kuzin, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev, «Thin film multilayer filters for solar EUV telescopes,» Applied Optics 55 (17) 4683-4690 (2016) doi: 10.1364/AO.55.004683

Нечай, А.Н. Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм / А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Цыбин, А.В. Щербаков // Квантовая электроника. – 2016. – Т.46. — №4. – С.347-352.

Володин Б.А. Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты маски от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии / Б.А. Володин, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, А.Ю. Лукьянов, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Л.А. Шмаенок // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2014. — Т.78, — №1, — С.82-85.

Клюенков Е.Б. Свободновисящие пленочные структуры для лазерно-плазменных экспериментов / Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин // Квантовая электроника. – 2013. – Т.43, -№4, — С.388-391

Дроздов М.Н. Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi2 и Mo/NbSi2 по термостабильности / М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2013. — Т.77, — №1, — С.94-96.

Кузин С.В. Эксперимент ТЕСИС космического аппарата «КОРОНАС-Фотон»/ С.В. Кузин, И.А. Житник, С.В. Шестов, С.А. Богачев, О.И. Бугаенко, А.П. Игнатьев, А.А. Перцов, А.С. Ульянов, А.А. Рева, В.А. Слемзин, Н.К. Суходрев, Ю.С. Иванов, Л.А. Гончаров, А.В. Митрофанов, С.Г. Попова, Т.А. Шергина, В.А. Соловьев, С.Н. Опарин, М.С. Зыков, В.И. Лучин, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин // Механика, управление и информатика.-2012.-№7, С. 41-60.

Гусев С.А. Термостабильность свободновисящих ЭУФ-фильтров в условиях длительного вакуумного отжига при температуре 700-1000°C / С.А. Гусев, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.-2012.- №6, С. 23-27.

Chkhalo N.I. Free-standing spectral purity filters for extreme ultraviolet lithography / N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, L.A. Sjmaenok, V.E. Banine, A.M. Yakunin // J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS. – 2012.-Vol. 11(2).- 021115

Chkhalo N.I. Freestanding multilayer films for application as phase retarders and spectral purity filters in the soft X-ray and EUV ranges / N.I. Chkhalo, M.N. Drozdov, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, B.A. Volodin // Proc. of SPIE. – 2011. – Vol. 8076. – 80760O-1

Дроздов М.Н. Эволюция распределения элементов в свободно висящих структурах Zr/ZrSi2 с защитными слоями MoSi2 и ZrSi2 при отжиге / М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Л.А. Шмаенок // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2011. — Т.75, — №1, — С.80-83.

Дроздов М.Н. Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона / М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2011. — Т.75, — №1, — С.77-79.

Дроздов М.Н. Изучение методом ВИМС влияние отжига на расперделение элементов в свободновисящих многослойных пленках Al/Si и Zr/ZrSi2 / М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, В.И. Лучин, А.Я. Лопатин, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Л.А. Шмаенок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования.-2010.- №5, С. 50-56.

Володин Б.А. Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов / Б. А. Володин, С. А. Гусев, М. Н. Дроздов, С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко,Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Л. А. Шмаенок // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2010. — Т.74, — №1, — С.53-57.

Chkhalo N.I. Influence of annealing on the structural and optical properties of thin multilayer EUV filters containing Zr, Mo and silicides of these metals / N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, M.N. Drozdov, E. B. Kluenkov, A. Ya. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin // Proc. SPIE. – 2010. — V.7521. – 752105

Bibishkin M.S. Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology / M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, E.B. Kluenkov, A.Y. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin, S.Y. Zuev // Proc. SPIE. – 2008. — V.7025. – 702502.

Андреев С.С. Фазовращатели на основе свободновисящих многослойных структур Cr/Sc / С.С. Андреев, М.С. Бибишкин, H. Kimura, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Т. Hirono, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2005. — Т.69, — №2, — С.207-210.

Андреев С.С. Поляризаторы и фазовращатели на основе многослойных зеркал и свободно висящих пленок для диапазона длин волн излучения 2.1 – 4.5 нм / С.С. Андреев, М.С. Бибишкин, Х. Кимура, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, Т. Хироно, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало // Известия Академии наук. Серия физическая. — 2004. — Т. 68. — № 4. — С. 565-568.