Технология магнетронного напыления
Метод магнетронного напыления позволяет наносить на подложки тонкопленочные покрытия практически из любых материалов: металлов, полупроводников и даже диэлектриков. Применение данного метода для синтеза многослойных зеркал получило широкое распространение в мире. Синтезированные с развитием и усовершенствованием технологии зеркала позволили достичь существенных успехов в различных областях науки и техники, таких как физика Солнца, изучение высокотемпературной лабораторной плазмы, проекционная рентгеновская литография, рентгеновская микроскопия и др.
Эта технология реализована в нашей лаборатории на десяти установках. Часть из них оснащена двумя магнетронными источниками, часть — четырьмя и часть — шестью. Размеры распыляемых мишеней и вакуумных камер позволяют наносить тонкопленочные покрытия на подложки с диаметрами до 350 мм. Равномерность толщины пленок по площади даже подложек с кривизной составляет десятые доли процента.
| Вакуумный интерферометр с дифракционной волной сравнения в вертикальном исполнении | Установка предназначена для измерениясферических и асферических поверхностей вогнутой и выпуклой формы, волновых аберраций оптических систем с субнанометровой точностью в воздухе и вакууме |
| Ориентация оптической оси интерферометра | Вертикальная |
| Максимальный размер детали | 450 мм |
| Максимальный вес детали | 20 кг |
| Режим измерений | Амплитудный и фазовый |
| Максимальная длина перемещения образца | 1500 мм |
| Точность измерений | Лучше 1 нм (< λ/600) в числовой апертуре 0,3 |
| Рабочая длина волны | λ=632,8 нм (He-Neлазер) |
| Интерферометр с дифракционной волной сравнения в горизонтальном исполнении | Установка предназначена для измерениясферических и асферических поверхностей вогнутой и выпуклой формы, волновых аберраций оптических систем с субнанометровой точностью в воздухе |
| Ориентация оптической оси интерферометра | Горизонтальная |
| Максимальный размер детали | 900 мм |
| Максимальный вес детали | 20 кг |
| Режим измерений | Амплитудный и фазовый |
| Максимальная длина перемещения образца | 4500 мм |
| Точность измерений | Лучше 1 нм (< λ/600) в числовой апертуре 0,3 |
| Рабочая длина волны | λ=632,8 нм (He-Neлазер) |
Принцип работы интерферометра
Принцип работы интерферометра заключается в сравнении исследуемой поверхности с эталонным сферическим фронтом. В качестве источника эталонной сферической волны используются одномодовые волокна с уменьшенной до субволновых размеров выходной апертурой. Сферический эталонный фронт делится на две часть. Одна часть фронта используется в качестве рабочего, котораянесет информацию об объекте, другая – в качестве референтного. В результате взаимодействия этих двух фронтов образуется интерференционная картина, которая регистрируется и обрабатывается в специализированной программе на компьютере.
Забродин, И.Г. Установка магнетронного и ионно-пучкового напыления многослойных структур / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, С.Д. Стариков, Л.А. Суслов // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2013. – №7. – С.37-39.
Zabrodin, I.G. Apparatus for the Magnetron and Ion-Beam Synthesis of Multilayer Structures / I.G. Zabrodin, B.A. Zakalov, I.A. Kaskov, E.B. Klyuenkov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, S.D. Starikov, L.A. Suslov // Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. – 2013. – V.7No.4. – P.637-640.
Полковников Владимир Николаевич
Заведующий лабораторией
в отделе рентгеновской оптики, к. ф.-м. н.