Статьи

Chkhalo, N.I. Collimator based on a Schmidt camera mirror design and its application to the study of the wide-angle UV and VUV telescope / Nikolay Ivanovich Chkhalo, Ilya Vyacheslavovich Malyshev, Alexey Evgenievich Pestov, Vladimir Nikolaevich Polkovnikov, Nikolay Nikolaevich Salashchenko, Michael Nikolaevich Toropov, Sergey N. Vdovichev, Igor Leonardovich Strulya, Yuri Alexandrovich Plastinin, and Artem A. Rizvanov // Journal of Astronomical Telescopes, Instruments, and Systems. – 2018. — V.4(1). — Р. 014003-1-014003-9.

Дюжев, Н.А. Микрофокусные рентгеновские трубки с кремниевым автоэмиссионным нанокатодом как источник рентгеновского излучения / Н.А. Дюжев, Г.Д. Демин, Т.А. Грязнева, А..Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Ф.А. Пудонин // Краткие сообщения по физике ФИАН, №12, с.56-63 (2017).

Vishnyakov, E.A. High-aperture monochromator-reflectometer and its usefulness for CCD calibration / E.A. Vishnyakov, A.V. Shcherbakov, A.A. Pertsov, V.N. Polkovnikov, A.E. Pestov, D.E. Pariev, N.I. Chkhalo // Proc. of SPIE. V.10235. Р.10235W (2017).

Chkhalo, N.I. Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium / N.I. Chkhalo, M.S. Mikhaylenko, A.V. Mil’kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev // Proc. of SPIE. V.10235. Р.10235M (2017).

Malyshev, I.V. Deformation-free rim for the primary mirror of telescope having sub-second resolution / I.V. Malyshev, N.I. Chkhalo, M.N. Toropov, N.N. Salashchenko, A.E. Pestov, S.V. Kuzin, V.N. Polkovnikov // Proc. of SPIE. V.10235. Р.10235C (2017).

М.В. Зорина, М.С. Михайленко, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, И.Л. Струля, С.А. Чурин, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко, “Влияние ионной бомбардировки нейтрализованными ионами неона на шероховатость поверхности плавленого кварца и бериллия,” Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2017. – №5. – С.5-9.

N.I. Chkhalo, I.A. Kaskov, I.V. Malyshev, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov, I.G. Zabrodin, “High-performance facility and techniques for high-precision machining of optical components by ion beams,” Precision Engineering, v.48, pp.338–346 (2017). (DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.precisioneng.2017.01.004)

N.I. Chkhalo, M.S. Mikhailenko, A.V. Mil’kov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, I.L. Strulya, M.V. Zorina, S.Yu. Zuev, “Effect of ion beam etching on the surface roughness of bare and silicon covered beryllium films,” Surface & Coatings Technology, v.311, pp.351–356 (2017). (DOI: http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.01.023)

А. Д. Ахсахалян, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, М. Н. Торопов,Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков. Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. № 1. С. 5–24.

Зорина, М.В. Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением / М.В. Зорина, С.Ю. Зуев, М.С. Михайленко, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Письма в ЖТФ. – т.42. – вып.16. – c.34-40 (2016).

Sidorov, D.S. Sputtering of carbon using hydrogen ion beams with energies of 60–800 eV / Dmitry S. Sidorov, Nikolay I. Chkhalo, Mikhail S. Mikhailenko, Alexey E. Pestov, Vladimir N. Polkovnikov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. – 2016. – V.387. – P.73-76.

Нечай, А.Н. Рентгенооптическая система для получения изображения лазерного факела с пространственным разрешением до 70 нм / А.Н. Нечай, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, Н.Н. Цыбин, А.В. Щербаков // Квантовая электроника. – 2016. – Т.46. — №4. – С.347-352.

Brychikhin, M.N. Reflective Schmidt–Cassegrain system for large-aperture telescopes / M. N. Brychikhin, N. I. Chkhalo, Ya. O. Eikhorn, I. V. Malyshev, A. E. Pestov, Yu. A. Plastinin, V. N. Polkovnikov, A. A. Rizvanov, N. N. Salashchenko, I. L. Strulya, and M. N. Toropov // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.16. – p.4430-4435.

Chkhalo, N.I. Ion-beam polishing of fused silica substrates for imaging soft x-ray and extreme ultraviolet optics / N.I. Chkhalo, S.A. Churin, M.S. Mikhaylenko, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov and M.V. Zorina // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.6. – p.1249-1256. (doi: 10.1364/AO.55.001249)

Chkhalo, N.I. Problems in the application of a null lens for precise measurements of aspheric mirrors / N.I. Chkhalo, I.V. Malyshev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov and A.A. Soloviev // Applied Optics. – 2016. – Vol.55. – No.3. – p.619-625. (doi: 10.1364/AO.55.000619)

Вайнер, Ю.А. Получение и метрология шероховатости сверхгладких оптических поверхностей / Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, В. Ермаков, С. И. Канорский, С. В. Кузин, С. В. Шестов, И. Л. Струля // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2015. – №8. – С.5-8.

Зорина, М.В. Прецизионная асферизация поверхности оптических элементов ионно-пучковым травлением / М.В. Зорина, И. М. Нефедов, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, С. А. Чурин, Н. И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – №8. – С.9–15 (2015).

Chkhalo, N.I. Sub-micrometer resolution proximity X-ray microscope with digital image registration / N. I. Chkhalo, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, M. V. Svechnikov // Review of Scientific Instruments. – v.86. – 2015. – 063701 (DOI: 10.1063/1.4921849)

Sergey Shestov, Viktor Ermakov, Sergey Kanorski, Sergey Kuzin, Egor Lavrentiev, Maria Zorina, Alexei Pestov, Niklay Salashchenko, Nikolai Chkhalo, Igor Stroulea. // Enabling high-resolution extreme UV solar astronomy // SPIE Newsroom, DOI 10.1117/2.1201411.005683, 2014 145/2014

Зорина, М.В. Формирование прецизионных оптических элементов методом ионно-пучкового травления / Зорина М.В., Нефедов И.М, Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Суслов Л.А., Торопов М.Н., Чурин С.А., Чхало Н.И // Научно-технической журнал «Контенант». – 2014. — Т.13.№2. – С.34-42.

Акопов, А.К. Высокочувствительный многоканальный телескоп ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового диапазона спектра для обнаружения сверхслабых излучений объектов / А.К. Акопов, М.Н. Брычихин, Ю.А. Пластинин, А.А. Ризванов, И.Л. Струля, Я.О. Эйхорн, И.В. Малышев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Космонавтика и ракетостроение. – №4 (78). – 2014. – с.77-85.

Булгакова, С.А. Влияние полимерной матрицы и фотогенератора кислоты на литографические свойства химически усиленного фоторезиста / С.А. Булгакова, Д.А. Гурова, С.Д. Зайцев, Е.Е. Куликов, Е.В. Скороходов, М.Н. Торопов, А.Е. Пестов, Н.И. Чхало, Н.Н. Салащенко // Микроэлектроника. – т.43. – №6. – 2014. – с.419-428.

Chkhalo, N.I. Roughness measurement and ion-beam polishing of super-smooth optical surfaces of fused quartz and optical ceramics / N. I. Chkhalo, S. A. Churin, A. E. Pestov, N.N. Salashchenko, Yu. A. Vainer, M. V. Zorina // Optics Express. – 2014. – vol.22. – No.17. – 20094. (DOI:10.1364/OE.22.020094)

Вайнер, Ю.А. Применение ионно-пучкового травления для “сглаживания” поверхности плавленого кварца / Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.78. – № 1 (2014). – С. 90-94

Володин, Б.А. Высокопрозрачные свободновисящие пленки для защиты маски от загрязнений в установках проекционной ЭУФ-литографии / Б. А. Володин, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, А. Ю. Лукьянов, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Л. А. Шмаенок // Известия РАН. Серия физическая. – т.78. – № 1 (2014). – С. 82-85

Барышева, М.М. Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов / М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, Б. А. Грибков, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, А.В. Щербаков // Журнал технической физики. – 2013. – т.83. – №9. – с.134-142. (DOI: 10.1134/S1063784213090077)

Забродин, И.Г. Установка ионно-пучковой и плазмохимической прецизионной коррекции формы оптических поверхностей / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, И.А. Каськов, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2013. – №9. – С.109-112

Барышева, М.М. Ситалловые полированные подложки для рентгеновской оптики / М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, Б. А. Грибков, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, И. Л. Струля, Н. И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2013. – №7. – С.9-13 (DOI: 10.1134/S1027451013040058)

Андреев, С.С. Многослойные рентгеновские зеркала для спектральной области “окна прозрачности углерода” 4,4–5 нм / С.С. Андреев, М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, П.К. Гайкович, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Кристаллография. – т.58. – №3. – 2013. – с. 497–500.

Дроздов, М.Н. Сравнительное тестирование свободно висящих многослойных фильтров Mo/ZrSi2 и Mo/NbSi2 по термостабильности // М. Н. Дроздов, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, Л. А. Шмаенок // Известия РАН. Серия физическая. – т.77. – № 1 (2013). – С. 94-96 (DOI: 10.3103/S1062873813010073)

Зуев, С.Ю. Лазерно-плазменный источник ЭУФ-излучения для проекционной нанолитографии / С.Ю. Зуев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало, А.В. Щербаков // Известия РАН. Серия физическая. – т.77. – № 1 (2013). – С. 9-13 (DOI: 10.3103/S1062873813010243)

Булгакова, С.А. Химически усиленные резисты для литографии высокого разрешения / С. А. Булгакова, М. М. Джонс, А. Е. Пестов, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, С. А. Гусев, Е. В. Скороходов, Н. Н. Салащенко // Микроэлектроника. – т.42. – №3. – с.206-217. – 2013 (DOI: 10.1134/S1063739713020054)

Волгунов, Д.Г. Формирование наноструктур на стенде эуф-литографа-мультипликатора. первые результаты / Д.Г. Волгунов, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.77. – № 1 (2013). – С. 4-8 (DOI: 10.3103/S1062873813010218)

Гусев, С.А. Термостабильность свободновисящих ЭУФ-фильтров в условиях длительного вакуумного отжига в интервале температур 700–1000°C / С.А. Гусев, М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, Д.Е. Парьев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2012. – №6. – С.23-28 (DOI:10.1134/S1027451012060134)

Гусев, С.А. Отражательная маска для проекционной литографии на длине волны 13.5 нм / С.А. Гусев, С.Ю. Зуев, А.Ю. Климов, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, В.В. Рогов, Н.Н. Салащенко, Е.В. Скороходов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2012. – №7. – С.20-26 (DOI: 10.1134/S1027451012070075)

Аруев, П.Н. Кремниевый фотодиод для экстремального ультрафиолетового диапазона спектра с селективным Zr/Si-покрытием / П.Н. Аруев, М.М. Барышева, Б.Я. Бер, Н.В. Забродская, В.В. Забродский, А.Я. Лопатин, А.Е. Пестов, М.В. Петренко, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, В.Л. Суханов, Н.И. Чхало // Квантовая Электроника. – 2012. – т.42. – №10. – с.943-948

Барышева, М.М. Прецизионная изображающая многослойная оптика для мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазонов / М.М. Барышева, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Успехи физических наук. – т.182. – № 7. – 2012. – С.727-747

Барышева, М.М. Развитие шероховатости сверхгладких поверхностей при ионно-пучковом травлении / М. М. Барышева, Ю. А. Вайнер, Б. А. Грибков, М. В. Зорина, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Р. А. Храмков, Н. И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.76. – № 2. – 2012. – С.190-195

Булгакова, С.А. Влияние химического строения (со)полимеров-резистов на их чувствительность к радиационному излучению / С. А. Булгакова, М. М. Джонс, Е. А. Киселева, Е. В. Скороходов, А. Е. Пестов, А. Я. Лопатин, С. А. Гусев, В. И. Лучин, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко // Известия РАН. Серия физическая. – т.76. – № 2. – 2012. – С.186-189.

Chkhalo, N.I. Manufacturing and characterization the diffraction quality normal incidence optics for the XEUV range / N.I. Chkhalo, M.M. Barysheva, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov // Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760P-1-13. 2011.

Barysheva, M.M. Problem of roughness detection for supersmooth surfaces / M.M. Barysheva, B.A. Gribkov Yu. A. Vainer, M.V. Zorina, A.E. Pestov, Yu. Ya. Platonov, D.N. Rogachev, N.N. Salashchenko, N.I. Chkhalo // Proc. of SPIE. V. 8076. Р. 80760M-1-10. 2011.

Дроздов, М.Н. Термически стойкие многослойные фильтры на основе молибдена для экстремального УФ-диапазона / М.Н. Дроздов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, В.И. Лучин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.Н. Цыбин, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 77-79.

Барышева, М.М. Особенности изучения шероховатости подложек для многослойной рентгеновской оптики методами малоугловой рентгеновской рефлектометрии, атомно-силовой и интерференционной микроскопии / М.М. Барышева, Ю.А. Вайнер, Б.А. Грибков, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 71-76.

Вайнер, Ю.А. Развитие микрошероховатости поверхности плавленого кварца и покрытий Cr/Sc при травлении ионными пучками / Ю.А. Вайнер, М.В. Зорина, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало, Р.А. Храмков // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 65-67.

Зуев, С.Ю. Двухзеркальный проекционный объектив нанолитографа на  = 13.5 нм / С.Ю. Зуев, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, А.С. Скрыль, И.Л. Струля, Л.А. Суслов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 61-64.

Зуев, С.Ю. Технологический комплекс для изготовления прецизионной изображающей оптики / С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 57-60.

Волгунов, Д.Г. Стенд проекционного ЭУФ-нанолитографа-мультипликатора с расчетным разрешением 30 нм / Д.Г. Волгунов, И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, М.Н. Торопов, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – т.75. – № 1 (2011). – С. 54-56.

Андреев С.С. Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C / С.С. Андреев, М.М. Барышева, Н.И. Чхало, С.А. Гусев, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Н. Рогачев, Н.Н. Салащенко, Ю.А. Вайнер, С.Ю. Зуев // Журнал технической физики. – 2010. – т.80. – №8. – с.93.

Б. А. Володин, С. А. Гусев, М. Н. Дроздов, С. Ю. Зуев, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало / Многослойные тонкопленочные фильтры экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского диапазонов // Известия РАН. Серия физическая. – т.74. – № 1 (2010). – С. 53-57.

N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, M.N. Drozdov, E.B. Kluenkov, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestova, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, N.N. Tsybin / Influence of annealing on the structural and optical properties of thin multilayer EUV filters containing Zr, Mo and silicides of these metals // Proc. of SPIE Vol. 7521 752105, 2010.

N.I. Chkhalo, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, M.N. Toropov / Manufacturing of diffraction quality optical elements for high resolution optical systems // Proc. of SPIE Vol. 7521 752104, 2010

S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev / Multilayered mirrors based on La/B4C(B9C) for X-ray range near anomalous dispersion of boron(≈6.7nm) // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A 603 (2010) 80–82

Chkhalo, N.I. Manufacturing of XEUV mirrors with subnanometer surface shape accuracy / N.I. Chkalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. — 2009. — V.603.№.1 – 2. — P. 62-65.

N. Chkhalo, I. Zabrodin, I. Kas’kov, E. Kluenkov, A. Pestov, and N. Salashchenko. Investigation of fluorescence on wavelength 13.5 nm of x-ray tube for nanolithographer. Proc. SPIE 7025, 702504 (2008).

M. S. Bibishkin, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, E. B. Kluenkov, A. Y. Lopatin, V. I. Luchin, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, L. A. Shmaenok, N. N. Tsybin, and S. Y. Zuev. Multilayer Zr/Si filters for EUV lithography and for radiation source metrology. Proc. SPIE 7025, 702502 (2008).

N. Chkhalo, L. Paramonov, A. Pestov, D. Raskin, and N. Salashchenko. Correction of the EUV mirror substrate shape by ion beam. Proc. SPIE 7025, 702503 (2008).

Nikolay I. Chkhalo, Evgeniy B. Kluenkov, Aleksey E. Pestov, Denis G. Raskin, Nikolay N. Salashchenko, and Mikhail N. Toropov. Manufacturing and investigation of objective lens for ultrahigh resolution lithography facilities. Proc. SPIE 7025, 702505 (2008).

Клюенков, Е.Б. Измерение и коррекция формы оптических элементов с субнанометровой точностью / Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, В.Н. Полковников, Д.Г. Раскин, М.Н. Торопов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Российские нанотехнологии. — 2008. — Т.3.№9-10. — С.116-124.

Пестов, А.Е. Моделирование интенсивности излучения рентгеновских трубок в мягком рентгеновском и экстремальном ультрафиолетовом диапазоне / А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. — 2008. — Т.72.№2. — С.218-220.

Забродин И.Г. Абсолютно калиброванный измеритель ЭУФ мощности для аттестации источников излучения на 13,5 нм / И.Г. Забродин, Б.А. Закалов, С.Ю. Зуев, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Я. Лопатин, Н.Н. Салащенко, Л.А. Суслов, А.Е. Пестов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2007. – №6. – С.104–107.

Вайнер Ю.А. Многослойные рентгеновские зеркала на основе W/B4C с ультракороткими (d=0.7 – 1.5 нм) периодами / Ю.А. Вайнер, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, В.В. Чернов, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2007. – №1. – С.10–16.

Ю.А. Вайнер Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами. // Вайнер Ю.А., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И. // Журнал экспериментальной и теоретической физики. – 2006. – Т.130. – №.3. – С.401-408.

Бибишкин, М.С. Рефлектометр с модернизированной оптической схемой для исследования элементов рентгенооптики в диапазоне 0,6-20 нм // М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2005. – №2. – С.23–27.

Bibishkin, M.S. Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation / M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. – 2005. – v.543. – p.333–339.

Andreev, S.S. Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation / S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A. – 2005. – v.543. – p.340–345.

Бибишкин, М.С. Исследование характеристик многослойных рентгеновских зеркал с ультракороткими периодами d=0.7-2.4 нм / М.С. Бибишкин, Ю.А. Вайнер, А.Е. Пестов, К.А. Прохоров, Н.Н. Салащенко, А.А. Фраерман, Н.И. Чхало // Известия РАН. Серия физическая. – 2005. – т.69. – № 2. – с.199–206.

Бибишкин, М.С. Лабораторные методы исследования многослойных зеркал для экстремального ультрафиолетового и мягкого рентгеновского излучения / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, С.Ю. Зуев, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Микросистемная техника. – 2004. – №11. – с.34-40.

Бибишкин, М.С. Двухзеркальный рефлектометр для относительных измерений коэффициентов отражения многослойных зеркал на длине волны 13.5 нм / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, И.А. Каськов, Е.Б. Клюенков, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало, Л.А. Шмаенок // Известия академии наук. Серия физическая. – 2004. – т.68. – № 4. – с.560–564.

Bibishkin, M.S. Laboratory methods for investigations of multilayer mirrors in Extreme Ultraviolet and Soft X-Ray region / M.S. Bibishkin, D.P. Chehonadskih, N.I. Chkhalo, E.B. Kluyenkov, A.E. Pestov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev // Proceedings SPIE. – 2004. – v.5401. – p.8–15.

Бибишкин, М.С. Характеристики детекторов на основе МКП и каналовых умножителей при работе в счетном режиме / М.С. Бибишкин, И.Г. Забродин, А.Е. Пестов, Н.Н. Салащенко, Д.П. Чехонадских, Н.И. Чхало // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. – 2003. – №7. – С. 5–8.