Рефлектометр на базе двух монохроматоров РСМ-500 и LHT-30

Общее описание

Камеры с данными монохроматорами формируют два разных плеча установки, каждый из которых используется для своего спектрального диапазона. Суммарно рефлектометр обеспечивает излучение в широком спектральном диапазоне 4–200 нм. Оба плеча соединены с центральной камерой, в которой расположен гониометр. В первом плече, в котором расположен монохроматор РСМ-500, источником излучения является рентгеновская трубка со сменными анодами. Сам монохроматор построен по роуландовской рентгенооптической схеме со сферической дифракционной решеткой и позволяет аттестовывать образцы в диапазоне 4–25 нм. В частности, использование мишеней кремния и алюминия в рентгеновской трубке позволяет измерять зеркала на λ=13,5 нм и 17,1 нм, соответственно. В плече с монохроматором LHT-30 в качестве источника используется газоразрядная трубка. В LHT-30 в качестве дисперсионного элемента используется тороидальная дифракционная решетка. Спектральный диапазон данного прибора 30–200 нм. В качестве рабочих газов используются водород, гелий, азот, кислород, аргон. Например, используя гелий, можно измерять угловые зависимости коэффициентов отражения образцов на спектральной линии 30,4 нм. Таким образом, данная установка позволяет производить измерение образцов как в МР, так и в ВУФ диапазонах, не меняя дифракционной решетки или принципиальной схемы монохроматоров.

В плече с монохроматором LHT-30 в качестве источника используется газоразрядная трубка. В LHT-30 в качестве дисперсионного элемента используется тороидальная дифракционная решетка. Спектральный диапазон данного прибора 30–200 нм. В качестве рабочих газов используются водород, гелий, азот, кислород, аргон. Например, используя гелий, можно измерять угловые зависимости коэффициентов отражения образцов на спектральной линии 30,4 нм. Таким образом, данная установка позволяет производить измерение образцов как в МР, так и в ВУФ диапазонах, не меняя дифракционной решетки или принципиальной схемы монохроматоров

Гониометр имеет шесть степеней свободы (изменяемые параметры α, δ, η, θ, φ, и ψ) и позволяет производить измерения достаточно массивных образцов (плоских, сферических, асферических) с максимальным диаметром 300 мм.

В качестве приемника излучения при измерении фильтров и многослойных зеркал используется фотокатод из CsI, пригодный для исследований во всем диапазоне. Для регистрации фотоэлектронов используются вторично-электронные умножители типа ВЭУ-6. На входных пучках обоих каналов установлены мониторные приемники излучения с сетчатыми фотокатодами для контроля входной интенсивности пучков. Все камеры рефлектометра непрерывно откачиваются вакуумной системой, которая обеспечивает вакуум необходимый для распространения излучения без поглощения, а также и более высокие требования к вакууму необходимые для устойчивой работы вторично–электронных умножителей и рентгеновской трубки. Конструкция рефлектометра позволяет производить замену тестируемых объектов и юстировочные манипуляции без нарушения вакуума непосредственно на рентгеновском пучке. Все механизмы рефлектометра приводятся в движение 8-ю шаговыми двигателями.

Основные характеристики движений, обеспечиваемые гониометром

Внешний вид рефлектометра на базе двух монохроматоров РСМ-500 и LHT-30

Схема рефлектометра на базе двух монохроматоров РСМ-500 и LHT-30