Рефлектометр со спектрометром-монохроматором РСМ-500

Общее описание

Данный рефлектометр разработан для оперативного контроля рентгенооптических элементов произвольной формы с максимальным размером 300 мм в диаметре. Он состоит из модуля источника излучения, спектрометра-монохроматора РСМ-500 и камеры гониометра. Источником излучения является разборная рентгеновская трубка со сменными анодами, что позволяет оперативно переключаться между длинами волн. В качестве спектрального элемента в РСМ-500 используется сферическая дифракционная решётка. Спектральное разрешение в ЭУФ диапазоне λ/δλ≈380. В зависимости от интересующего диапазона излучения применяются сферические решётки с радиусами кривизны 6 м (диапазон 0.6-5 нм), 4 м (диапазон 1.6 – 9 нм) и 2 м (диапазон 4 -50 нм). Полихроматическое излучение от источника (рентгеновской трубки) через входную щель падает на дифракционную решётку, после чего в соответствии с уравнением решётки:

где m – порядок дифракции, λ – длина волны и D – период решётки,  и  – углы падения и дифракции соответственно, на выходную щель спектрометра фокусируется монохроматическое излучение. Затем дифрагированный пучок через выходную щель направляется на тороидальное зеркало, фокусирующие излучение на исследуемом образце, закреплённым на гониометре. Отражённое излучение регистрируется детектором на основе вторичного электронного умножителя ВЭУ. Антирассеивающие горизонтальная и вертикальные диафрагмы служат для уменьшения рассеянного излучения в спектрометре, а также для ограничения вертикального зондового пучка.

Внешний вид рефлектометра со спектрометром-монохроматором РСМ-500

Схема высокоразрешающего лабораторного рефлектометра на основе РСМ-500