Статьи

2019

1. N. I. Chkhalo, A. Y. Lopatin, A. N. Nechay, D. E. Pariev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. A. Sokolov, M. V. Svechnikov, Tsybin, and S. Y. Zuev, «Beryllium-Based Multilayer Mirrors and Filters for the Extreme Ultraviolet Range,» J. Nanosci. Nanotechnol. 19(1), 546–553 (2019).
2. В.Н. Полковников, Н.И. Чхало, E. Meltchakov, F. Delmotte, С.Ю. Зуев, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.Н. Цыбин. Стабильные многослойные отражающие покрытия на длину волны λ(HeI)=58.4 nm для солнечного телескопа проекта КОРТЕС. Письма в ЖТФ, 2019, том 45, вып. 3, 26-29.
3. Vladimir N. Polkovnikov, Nikolai I. Chkhalo, Roman S. Pleshkov, Nikolai N. Salashchenko, Franz Schäfers, Mewael G. Sertsu, Andrey Sokolov, Mikhail V. Svechnikov, and Sergei Yu. Zuev, «Stable high-reflection Be/Mg multilayer mirrors for solar astronomy at 30.4  nm,» Opt. Lett. 44, 263-266 (2019).
4. М.М. Барышева, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, В.Н. Полковников, Н.Н. Салащенко, М.В. Свечников, Н.И. Чхало, С. Юлин, «Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры«, Квант. электроника, 2019, 49 (4), 380–385.
5. Вайнер Ю.А., Гарахин С.А.*, Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И., Юнин П.А, «Микроструктура и плотность пленок Mo в многослойных зеркалах Mo/Si«, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2019, №1, с. 21-27
6. Зуев С.Ю., Парьев Д.Е., Плешков Р.С., Полковников В.Н.*, Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Сертсу М.Г., Соколов А., Чхало Н.И., Шаферс Ф. «Многослойные зеркала Mo/Si с барьерными слоями B₄C и Be«, Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2019, №3, с. 5-9
7. А.А. Ахсахалян, Ю.А. Вайнер, С.А. Гарахин, К.А. Елина, П.С. Заверткин, С.Ю. Зуев, Д.В. Ивлюшкин, А.Н. Нечай, А.Д. Николенко, Д.Е. Парьев, Р.С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало. Комплект многослойных рентгеновских зеркал для двухзеркального монохроматора в диапазоне длин волн 0.41-15.5 нм.  Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 1. С. 1–9.

2018

1. A. N. Nechay, N. I. Chkhalo, M. N. Drozdov, S. A. Garakhin, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, Y. A. Vainer, E. Meltchakov, and F. Delmotte, «Study of oxidation processes in Mo/Be multilayers,» AIP Adv. 8(7), 075202 (2018).
2. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, A. N. Nechay, D. E. Pariev, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, D. A. Tatarskiy, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, Y. A. Vainer, and M. V. Zorina, «Influence of barrier interlayers on the performance of Mo/Be multilayer mirrors for next-generation EUV lithography,» Opt. Express 26, 33718-33731 (2018)

2017

1. С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, М. В. Свечников. “Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования,” Квантовая электроника, 2017, том 47, номер 4, с. 385–392
2. А. Д. Ахсахалян, Е. Б. Клюенков, А. Я. Лопатин, В. И. Лучин, А. Н. Нечай, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, М. Н. Торопов,Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, А. В. Щербаков. “Состояние дел и перспективы развития многослойной рентгеновской оптики в ИФМ РАН,” Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2017. № 1. С. 5–24
3. N. I. Chkhalo, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, R. A. Shaposhnikov, I. L. Stroulea, M. V. Svechnikov, Y. A. Vainer, and S. Y. Zuev, «Be/Al-based multilayer mirrors with improved reflection and spectral selectivity for solar astronomy above 17 nm wavelength,» Thin Solid Films 631, 106–111 (2017).
4. N. I. Chkhalo, S. A. Gusev, A. N. Nechay, D. E. Pariev, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, F. Schäfers, M. G. Sertsu, A. Sokolov, M. V. Svechnikov, and D. A. Tatarsky, «High-reflection Mo/Be/Si multilayers for EUV lithography,» Opt. Lett. 42, 5070 (2017).
5. M. Svechnikov, D. Pariev, A. Nechay, N. Salashchenko, N. Chkhalo, Y. Vainer, and D. Gaman, «Extended model for the reconstruction of periodic multilayers from extreme ultraviolet and X-ray reflectivity data,» J. Appl. Crystallogr. 50, 1428–1440 (2017).

2015

1. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, N. N. Salashchenko, and M. V. Zorina, «Application of point diffraction interferometry for middle spatial frequency roughness detection,» Opt. Lett. 40, 159 (2015).
2. N. I. Chkhalo, a. E. Pestov, N. N. Salashchenko, a. V. Sherbakov, E. V. Skorokhodov, and M. V. Svechnikov, «Sub-micrometer resolution proximity X-ray microscope with digital image registration,» Rev. Sci. Instrum. 86, 063701 (2015).
3. M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, M. N. Toropov, and N. N. Salashchenko, «Resolving capacity of the circular Zernike polynomials,» Opt. Express 23, 14677 (2015).
4. D. A. Gavrilin, S. V. Kuzin, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, M. N. Toropov, N. I. Chkhalo, and A. A. Soloviev, «Application of point diffraction interferometry for measuring angular displacement to a sensitivity of 001 arcsec,» Appl. Opt. 54, 9315 (2015).

2014

1. Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Чхало Н.И., Щербаков А.В. Двухкоординатный цифровой детектор для микроскопии в мягком рентгеновском диапазоне. Известия Российской академии наук. Серия физическая. 2014. Т. 78. № 1. С. 102.

Контакты: